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CVD鍍膜冷凍機(jī)|低溫冷凍機(jī)| 深冷泵
使用單位：北京大學(xué)生命科學(xué)院、中國運(yùn)載火箭研究院、中國空間研究院、中科院遺傳與發(fā)育所、中科院林業(yè)研究所、
南京中國醫(yī)科大學(xué)、山東大學(xué)生命科學(xué)院、北京大學(xué)附屬醫(yī)院、航天部23所、504所、山西太化集團(tuán)、北京實(shí)力源、
深圳森科五金、中國醫(yī)科院病毒所、中國石化勝利油田、陜西量子高科制藥集團(tuán)、成都現(xiàn)代南光、深圳市龍華東田精密涂覆廠等。
-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
（提供polycold冷媒及維修）
水汽捕集泵 又稱：POLYCOLD、快速循環(huán)水汽深冷泵
應(yīng)用原理:
在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。
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