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功能調(diào)系列調(diào)阻機(jī)
設(shè)備特點
?定制化：可針對客戶產(chǎn)品不同的激光調(diào)阻應(yīng)用要求，提供具有較高價值的產(chǎn)品解決方案。
?調(diào)阻精度高：獨特的測控技術(shù)，測量控制系統(tǒng)精度的一致性好，提升產(chǎn)品附加值；成品率高，單位成本下降。
?軟件可編程：可輕松實現(xiàn)客戶的不同需求以及高自動化運行，也可作為專門的測試平臺，適應(yīng)性廣。
?使用成本低：采用了先進(jìn)的激光器，無耗材，使用成本較低，長期使用節(jié)約大量的費用。
?多功能：可實現(xiàn)陶瓷基片的激光劃線、打標(biāo)，減少設(shè)備的再投入。
?大理石基座，可有效減小工作臺啟動、停止和加速過程中產(chǎn)生的震動，同時保持機(jī)臺溫度的穩(wěn)定性，性高。
主要技術(shù)參數(shù)
激光系統(tǒng) 型號規(guī)格 LT
激光波長 1064nm
激光功率 10W
典型光斑尺寸 35±5μm
對焦方式 自動，計算機(jī)程序控制
冷卻方式 風(fēng)冷
激光束定位系統(tǒng) 激光束運動范圍 60mm X 60mm
運動分辨率 0.76μm
重復(fù)定位精度 ±5μm
分步重復(fù)運動系統(tǒng) 運動方式 精密閉環(huán)XY平臺
運動范圍 300mm*300mm
重復(fù)定位精度 ±10μm
較大運動速度（空載） 180mm/s
測量系統(tǒng) 電阻測量方式 四線制測量或二線制測量
電阻測量精度 中阻0.05%
電阻測量范圍 0.1Ω-100MΩ
測量速度 25μs/次
零點及滿程誤差校正 自動校正
探針定義 可編程任意設(shè)定
探針板運動 自動，計算機(jī)程序控制
