術(shù)參數(shù)X 軸 　測(cè)量范圍: 100mm 或 200mm 　分辨率: 0.05µm 　檢測(cè)方法: 線性編碼器 　驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 80mm/s 　測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s 　 移動(dòng)方向: 向后 　直線度: (0.05+1L/1000)µm* (0.5µm/200mm: 測(cè)量范圍為200mm的型號(hào)) 　傾角范圍: ±45º Z2 軸 (立柱) 　垂直移動(dòng): 300mm 或 500mm、動(dòng)力驅(qū)動(dòng) 　分辨率: 1µm 　檢測(cè)方法: ABSOLUTE 線性編碼器 　驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s 檢測(cè)器 　范圍／分辨率: 800µm / 0.01µm, 80µm / 0.001µm, 8µm / 0.0001µm (使用測(cè)頭選件 時(shí)，最大可達(dá)2400µm) 　檢測(cè)方法: 無(wú)軌／有軌測(cè)量 　測(cè)力: 4mN 或 0.75mN (低測(cè)力型) 　測(cè)針針尖: 金剛石、90º / 5µmR (60º / 2µmR: 低測(cè)力型) 　導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm 　檢測(cè)方法: 差動(dòng)電感式 基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm 基座材料: 花崗巖 尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (S4 型) 756 x 482 x 1166mm (H4 型) 1156 x 482 x 1176mm (W4 型) 766 x 482 x 966mm (S8 型) 766 x 482 x 1166mm (H8 型) 1166 x 482 x 1176mm (W8 型) 重量 140kg (S4, S8 型) 150kg (H4, H8 型) 220kg (W4, W8 型) *L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) 評(píng)估能力: SURFPAK-SV 評(píng)估輪廓 　P (主輪廓), R (表面粗糙度輪廓), WC, WCA, WE, WEA, 　　 　DIN4776 輪廓、包絡(luò)殘余線、粗糙度 motif、波形 motif 評(píng)估參數(shù) 　Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi, 　Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, δc, plateau ratio, 　mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Δa, Δq, λa, λq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, 　A2 　粗糙度 motif 參數(shù): Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM 　波形 motif 參數(shù): Wte, Wx, W, AW SW, SAW, NW 分析圖表 　ADC, BAC1, BAC2、功率譜圖、自相關(guān)圖、Walsh 功率 譜圖、Walsh 自相關(guān)圖、 傾斜分布圖、局部峰值分布圖、 參數(shù)分布圖 濾波類型 2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% (相位校正), 　2CR-50% (相位校正), 高斯-50% 截止波長(zhǎng)* 　λc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm 　fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm 　fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm 取樣長(zhǎng)度 (L)* 　0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm 取樣長(zhǎng)度 　傾斜補(bǔ)償、R 平面 (曲面) 補(bǔ)償、橢圓補(bǔ)償、拋物線補(bǔ)償、 　雙曲線補(bǔ)償、二次曲線自動(dòng)補(bǔ)償、 多項(xiàng)式補(bǔ)償、 　多項(xiàng)式自動(dòng)補(bǔ)償 * 可在0.025mm 至最大移動(dòng)長(zhǎng)度間指定任意長(zhǎng)度。