無塵潔凈室它是懸浮粒子濃度受控，其建造和使用方式使得進入、產(chǎn)生、滯留于室內(nèi)的粒子少的房間。室內(nèi)的其它參數(shù)包括：溫度、溫度、氣壓等，按需要受控。
潔凈室采用頂送底排的紊流型空氣潔凈方法，潔凈室外的非潔凈空氣被吸入中效送風(fēng)箱，須經(jīng)過初中效過濾后，經(jīng)過送風(fēng)管道送入潔凈室頂部的保溫送風(fēng)口中，經(jīng)過濾后進入潔凈室內(nèi)部，從而使?jié)崈羰覂?nèi)達到所需的潔凈度。進入潔凈室內(nèi)的潔凈空氣再由潔凈室底部的回風(fēng)窗流入頂部的回風(fēng)管，再經(jīng)回風(fēng)管回到機房進入中效送風(fēng)箱，形成循環(huán)。在循環(huán)的中間還設(shè)置空調(diào)機系統(tǒng)，對循環(huán)空氣進行溫濕度控制。
潔凈等級劃分：十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級等靜態(tài)。聯(lián)邦209E標(biāo)準(zhǔn)：每立方英尺空間內(nèi)粒徑為0.5um的粒子不超過個。
潔凈室內(nèi)的建筑材料不產(chǎn)生粒子且便于清潔。
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