英國HHV公司多功能鍍膜設備（熱阻蒸發、電子束蒸發和濺射系統）
產品概述
英國HHV公司的HHV Auto系列產品是一種多功能鍍膜設備（熱阻蒸發、電子束蒸發和濺射可選），設計用于滿足科研工作者和電子顯微學家的需求。
Auto系列可配備各種真空系統、真空腔室和標準化工藝附件，提供一系列實驗技術以滿足現代化實驗室的需要。
Auto3系列可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前開門式不銹鋼箱式腔室。FL400腔室具有額外的高度與寬度，適用于安裝較多的工藝附件。
客戶可選擇的模塊化工藝附件，包括熱阻蒸發源及其控制電源、3kW EB3電子束蒸發源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監控儀等。
真空系統由觸屏PLC控制和監控，易于操作；高真空泵選擇包括擴散泵、渦輪分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時保護泵和樣品。
產品特點
觸屏PLC自動控制真空系統
多種可選薄膜沉積源和電源
多種可選樣品夾具
多種可選真空腔室
智能高真空閥門保護泵及樣品
緊湊型設計，小化空間占用
無需壓縮空氣
完整的安全使用互鎖保護
技術參數
極限真空
600 l/s 擴散泵：2×10E-7 mbar
500 l/s 渦輪泵：2×10E-7 mbar
250 l/s 渦輪泵：2×10E-7 mbar
抽真空時間
大氣壓到1×10E-5 mbar：4分鐘
大氣壓到1×10E-6 mbar：25分鐘
主要應用
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多功能鍍膜機
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價 格：免費咨詢行業專家- 最小采購量：個
- 聯系人姓名：張先生
成效數據 發布時間: 755人瀏覽過 1056人索取聯系 2條客戶詢盤 搜索引擎收錄概況 商家產品數38個 92%收錄 92%收錄 65%收錄 31%收錄 92%收錄
北京創世杰科技發展有限公司
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