使用范圍 　　　質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等行業的氣流測量與控制。 1.2 質量流量控制器和質量流量計 質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控制兩種功能。 　　　質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流控制功能。 1.3 S48 300/HMT質量流量控制器的特點 　　　☆ S48 300/HMT型質量流量控制器是在引進HORIBA STEC技術基礎上，結合國內需要而研制的一種數字式質量流量控制器產品，采用當今先進的32位ARM系列處理器做數字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。 　　　☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協議。協議簡單，兼容性強，易于組網。配合上位機，可進行各種復雜的計量、控制操作及組態。 　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。 　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。 　　　☆可任意角度安裝。 　　　☆兼容數字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動控制系統配合。 配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時流量進行測量和計量。 　　　S48 300/HMT數字流量控制器技術指標 編號 項目 S48 300/HMT 1 流量規格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min 2 調節閥類型 電磁調節閥 3 調節閥靜止狀態 常閉 4 安裝角度 任意 5 流量控制范圍 2%-F.S. 6 流量測量范圍 0-F.S. 7 響應時間 ≤ 1 sec 8 工作環境溫度 5-50℃ 9 精度溫度 15-35℃ 10 精度 ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) 11 線性精度 ±0.5%F.S. 12 重復性 ±0.2%F.S. 13 工作壓差 -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) 14 耐壓 3MPa(G) 15 泄漏率 ＜1×10-8Pa·m3/s(He) 16 接觸氣體材料 316L，Viton??氟橡膠，PTFE 17 管路接頭 Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ 18 供電電源 ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA 19 設定信號 數字：RS485/RS232 模擬：0 - 5V，輸入阻抗＞10kΩ 20 流量輸出信號 數字：RS485/RS232 模擬：0 - 5V，負載能力≤3mA 21 通訊接口 數字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協議從機，設備號可選范圍0-15 22 重量(kg) 0.9