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主要技術指標
質量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規定為: 標準狀態 mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業標準)
標準狀態L/min （升/分鐘） (SLM行業標準)
標準狀態規定為:溫度 --- 0℃
氣壓 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 33M/MT型質量流量控制器(流量計)技術指標
編號 項目 S49 33/MT
1 流量規格 (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10) L/min (15,20,30) L/min
2 調節閥類型 電磁調節閥
3 調節閥靜止位置 常閉
4 準確度 ± 1.0% F.S ± 2.0% F.S
5 線性 ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S
6 重復精度 ±0.2 %F.S
7 響應時間 ≤8 s（T95）
8 工作壓差范圍 (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa
9 耐壓 3 MPa ﹑ 10 MPa
10 工作環境溫度 5℃ ～ 45℃
11 材料 不銹鋼316L
12 標準密封材料 Viton?﹑EPDM, 或其他
13 漏率 1×10-8?Pa.m3/s
14 接頭 Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，
軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它
15 輸入輸出信號 0 V ～ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
16 電源 +15 V 50 mA
-15V 200 mA
17 外形尺寸 mm 134×134×38
18 重量 kg 1.2
注意： S49系列質量流量控制器(流量計)分不同的流量范圍，供用戶選擇，也可根據用戶提出流量定制。
